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無塵室設計和裝修的基本知識是什么?
無塵室裝修設計是污染控制的基礎。如果沒有潔凈室,就不可能大規模生產對污染敏感的部件。在FED-STD-2中,無塵潔凈室被定義為具有空氣過濾、分配、優化、結構材料和設備的房間。特定和常規的操作程序通過控制空氣中顆粒的濃度來達到適當的顆粒清潔度水平。
1.無塵室的設計和建造是指在一定空間內去除空氣中的顆粒物、細菌和其他污染物。室內溫度、清潔度、室內壓力、空氣速度和分布、噪音、振動、照明和靜電控制均在規定要求內進行。提供專門設計的無塵室。
第二,潔凈室的原則。潔凈室內使用了HEPA和空氣凈化設備,除塵率為99.97%~99.9995%,因此這款過濾器過濾的空氣可以說非常干凈。然而,除了人,潔凈室中還有機器等灰塵來源。一旦擴散,就不可能保持干凈的空間。因此,應利用氣流將產生的粉塵快速排出室外。
第三,潔凈室里有三層灰塵。無塵潔凈室有三個原則:防塵、除塵和除塵。作為進入潔凈室的緩沖通道之一,風室是帶有灰塵的最佳凈化設備之一,可以大大減少員工進出潔凈室的污染問題。空調室兩扇門的電子鎖也作為空調室,可以防止外部污染和不純空氣進入無塵清潔區域,滿足生產現場所需的生產清潔環境。
第四,無塵潔凈室的重要作用是控制產品(如硅片)接觸的大氣清潔度、日常溫度和濕度。通過這種方式,可以在良好的環境空間中生產和制造產品。這個空間被稱為無塵潔凈室。根據國際慣例,無塵凈化水平主要基于每立方米空氣中直徑大于區分標準的顆粒數量。換句話說,灰塵不是100%無塵,而是在非常小的單元中控制的。當然,在這個標準下,符合粉塵標準的顆粒與我們常見的粉塵相比已經非常小,但在光學結構中,即使是一點點粉塵也會產生非常大的負面影響。因此,在光學結構產品的生產中,無粉塵是不可避免的要求。
五、 如果每立方米小于0.5μm的微粒數量控制在3500以下,將達到國際無塵標準的A級。在芯片級生產和加工中應用的無塵標準對粉塵的要求高于A級。該高標準主要適用于一些高級別芯片的生產。細粉塵的數量嚴格控制在每立方米1000個以內,這在業內通常被稱為1K級。
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